mems传感器制造
压阻压力传感器的精度可达0.05%±0.01%，年稳定度可达0.1%/F.S，温度误差为0.0002%，耐压可达几百MPa，过压保护范围可达传感器range的20倍以上，可在大范围内充分工作,从信号检测方式上，微机械压力传感器可分为压阻式和电容式，分别基于体微机械加工技术和牺牲层技术制造,1微机械压力传感器微机械压力传感器是研制最早的微机械产品，也是微机械技术中最成熟、产业化程度最高的产品,发生振动时，传感器处于持续的开关状态。1、MEMS传感器的研究现状1微机械压力传感器微机械压力传感器是研制最早的微机...
更新时间：2024-05-14标签： mems传感器制造mems传感器制造 全文阅读