截至2010年底,全球从事MEMS的研究和生产的公司约有600家,开发了包括微压传感器加速度传感器微型喷墨打印头数字微镜显示器在内的数百种产品,其中-0,三小型化,-0传感器随着集成微机电加工技术的成熟而研发的异军突起,MEMS传感器介绍了氧化光刻、扩散淀积和刻蚀等半导体加工技术的生产,中国高端MEMS传感器未来发展一定要做大做强,MEMS传感器也就是微机电系统。1、国内外传感器现状及发展趋势Global传感器制造业的市场现状传感器由于世界各国对发展的普遍重视和投入,展览非常迅速。目前,全球共有6500多...
更新时间:2023-04-19标签: 陀螺仪MEMSmems传感器原理MEMS陀螺仪传感器的生产 全文阅读