简述电容式加速度传感器的工作原理,电容式加速度传感器结构图

根据传感器敏感元件的不同，常见的加速度传感器包括电容感应应变压阻压电式等,压电加速度传感器分为电荷输出型加速度传感器、电压输出型加速度/ICP,加速度传感器是一种传感器可以测量加速度,压电加速度传感器压电加速度压电的结构与安装加速度压电的结构加速度常用压电。

MEMS，加速度传感器是的，我以前用过，价格根据精度不同从. 1到5美元不等。产于无锡，工程振动值的物理参数通常用位移速度和加速度表示。由于振动位移的振幅在通常的频率范围内很小，且位移速度和加速度可以相互换算，所以实际使用中振动的大小一般用加速度的值来衡量。常见的单位有:米/秒2，或重力加速度。描述振动信号的另一个重要参数是信号的频率。

还根据传感器的规定频率范围内的幅度测量精度对传感器的主要性能指标进行了评估。最常用的振动测量传感器按其工作原理可分为压电压阻式电容电感式和光电式。压电式加速度 传感器它测量频率范围宽，体积大，重量小，对被测部分影响小，安装使用方便，是最常用的振动测量。传感器压电-原理与特性压电传感器的选型是基于弹簧质量系统的原理。

根据不同的分类标准，有不同的类型，如温度传感器位移传感器、涡流传感器按原理、输出信号、制造工艺、动作形式、组成等。根据被测介质的某些特性，如温度传感器压力传感器流量传感器液位传感器速度传感器等等。激光位移传感器，距离测量传感器，涡流传感器，长度测量传感器，直径测量传感器等等。传感器将旋转物体的转速转化为电输出。

根据信号形式的不同，speed 传感器可分为模拟和数字。前者的输出信号值是转速的线性函数，后者的输出信号频率与转速成正比，或者信号峰值间隔与转速成反比。转速传感器的应用范围很广，因为自动控制系统和自动化仪表中使用了大量的电机，对低速有严格的要求，如每小时一转以下，高速如每分钟几十万转，对瞬时速度有精确的测量。

电容formula传感器是一个把测得的变化转化为电容量的变化的装置，它本身就是一个变量电容装置。由于本传感器具有结构简单、体积小、动态响应好、灵敏度和分辨率高、可实现非接触测量等特点，广泛应用于位移加速度振动压差液位及其他等含量的检测领域。本文主要介绍电容-3/的原理、结构型测量电路及其工程应用。当测得的变化量改变Sd或任何一个参数时,电容的量也随之变化，从而完成测得到电容的转换。