D.MEMS 传感器多个相同的敏感元件集成也可以在同一芯片上形成传感器阵列(如微触觉传感器)；或者把不同的传感器集成放在同一个芯片上实现多功能传感(比如微型气体传感器传感器)。1.按用途可分为压力灵敏度和力灵敏度传感器，位置传感器，液位传感器，能耗传感器，速度传感器，加速度/12。
1，压力灵敏度和力灵敏度传感器，位置传感器，液位传感器，能耗传感器，速度-0。2、根据振动传感器、湿度传感器、磁性传感器、气体传感器、真空传感器、生物/123的原理。3.根据其制造工艺，集成 传感器采用生产硅基半导体的标准工艺集成电路制造。通常，用于测量信号的初步处理的电路的一部分也在同一芯片上。
当使用混合工艺时，电路的一部分也可以在该衬底上制造。厚膜是通过将相应材料的浆料涂覆在通常由Al2O3制成的陶瓷基底上，然后对其进行热处理以形成厚膜而制成的。陶瓷传感器由标准陶瓷技术或一些变体技术(溶胶、凝胶等)生产。).4.物理型传感器是利用被测物质的某些物理性质发生了明显变化的特性而制成的。化学型传感器由能把化学物质的成分、浓度等化学量转化为电学量的敏感元件制成。
一般将传感器的功能与人体五大感觉器官进行比较:光敏感度传感器视觉；听觉灵敏度传感器听觉；气体敏感度传感器嗅觉；化学传感器味觉；压力敏感、温度敏感、流体传感器触觉。敏感元素分类:物理范畴，基于力、热、光、电、磁、声等物理效应。化学，基于化学反应的原理。生物学是基于分子识别功能，如酶、抗体和激素。一般按其基本传感功能可分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、辐射敏元件、色敏元件、味敏元件等十大类(有人曾将敏感元件分为46类)。
功能:我们需要传感器在研究自然现象和规律以及生产活动中获取信息。传感器是获取自然和生产领域信息的主要途径和手段。在现代工业生产过程中，特别是自动化生产过程中，要用各种传感器来监视和控制生产过程中的各种参数，使设备工作在正常状态或最佳状态，产品达到最佳质量。
