据此，根据波与物质的相互作用规律，先后研制出了声温传感器、红外传感器、微波传感器。无线传感器应用，先说最早开发的温度传感器，温度传感器是发展最早，应用最广的类型传感器，传感器在航空领域的应用传感器是能够感知规定的被测信号，并按照一定规律转换成可用的输出信号的器件和装置。
是mems技术产生的压力传感器。Mems是微电子机械系统的缩写。Mems是个美国名字，日本叫微力学，欧洲叫微系统。是指能够批量生产，集微机构、微传感器、微致动器、信号处理与控制电路、接口、通信、电源于一体的微型器件或系统。Mems是随着半导体集成电路微加工技术和超精密加工技术的发展和发展而产生的。目前mems加工技术也广泛应用于微流控芯片、合成生物学等领域，以进行生化等实验室技术流程的芯片集成。
楼上的人真的很无聊。建议你去科技论文网查一下。去你学校图书馆问问有没有买数据库，一般学校都有。然后输入你的关键词并查找。首先必须说明的是，在大多数情况下，本文标题和全文中提到的传感器实际上指的是三种器件:传感器它将非电输入参数转换成电磁信号输出；用于将电信号转换成非电参数输出的致动器；并且既可以作为传感器又可以作为执行器，其中更多的是将一种电磁参数形式转换成另一种电磁参数形式输出的发射器。
1根据传感器的物理量分类，可分为位移、力、速度、温度、流量、气体成分等。传感器.2.根据传感器的工作原理，可分为电阻、电容、电感、电压、霍尔、光电、光栅、热电偶等。传感器.3.根据传感器输出信号的性质可分为:开关型传感器其输出为开或关；输出为模拟传感器；数字输出为脉冲或代码传感器。
Micro 传感器微传感器、信号处理器和数据处理装置通过微加工技术封装在一个芯片上。由于其体积小、价格低、易于集成，可以明显提高系统的测试精度。目前这项技术已经逐渐成熟，可以用来制作各种微传感器用于测量力学量、磁量、热量。多功能是指一个传感器可以检测两个或两个以上的特征参数或化学参数，从而减少传感器的车数，提高系统的可靠性。
