MEMS使用一种类似于集成设备设计和制造的新技术。特点是零件很小，刻蚀深度往往需要几十到几百微米，宽度误差很小。这种工艺也可用于制造三相电机、超高速离心机或陀螺仪。在研究中，应相应地检测准原子尺度的微变形和微摩擦。虽然目前它们还没有真正进入纳米的规模，但是它们具有巨大的潜在科学价值和经济价值。
5、 传感器及其工作 原理是什么?传感器Work原理分类物理学传感器应用物理效应，如压电效应、磁致伸缩现象、电离、极化、热电、光电和磁电效应。被测信号量的微小变化都会转换成电信号。化学传感器包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的传感器，被测信号量的微小变化也会转化为电信号。如今，越来越受到工控青睐的激光器传感器发展迅速。激光传感器不仅用途广泛，而且利用激光高方向性、高单色性、高亮度的特点，可以实现非接触式远距离测量。
6、 传感器的工作 原理是什么?Basic 原理是光学三角法:半导体激光①通过透镜②聚焦在被测物体⑥上。反射光被透镜③收集，投射到CMOS阵列④上；信号处理器⑤通过三角函数计算光斑在阵列⑤上的位置，得到与物体的距离。根据传感器 work 原理，可以分为物理传感器和化学传感器 2: 1两类。传感器工作。
2.化学传感器包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的传感器，被测信号量的微小变化也会转化为电信号。如今，越来越受到工控青睐的激光器传感器发展迅速。激光传感器不仅用途广泛，而且利用激光高方向性、高单色性、高亮度的特点，可以实现非接触式远距离测量。激光传感器常用于测量长度、距离、振动、速度、方位等物理量，也可用于探伤和监测大气污染物。
7、 传感器的 原理是什么?General 传感器由电源电路、磁场感应电路、放大电路、显示电路和信号输出组成。电源设备提供本质安全型电源，信号由磁感应电流经过I/V转换和电压放大电路分别提供给显示电路和信号输出电路。传感器(英文名:transducer/sensor)是一种检测装置，能够感知被测信息，并将感知到的信息按照一定的规则转换成电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息传输、处理、存储、显示、记录和控制的要求。
这是实现自动检测和自动控制的第一步。传感器的存在和发展，使物体有了触觉、味觉、嗅觉等感官，使它们慢慢活了过来，一般按其基本传感功能可分为十大类:热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、辐射敏元件、色敏元件、味敏元件。主要功能是为了从外界获取信息，人必须求助于感觉器官，而研究自然现象和规律及其在生产活动中的作用，仅靠人自身的感觉器官是远远不够的。
